石英軟頌

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青島福潤德微電子設(shè)備有限公司

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詳細(xì)參數(shù)
品牌其他型號(hào)隔熱保溫
類型其他加工定制
規(guī)格尺寸其他

產(chǎn)品詳情

Soft collar 為進(jìn)口石英纖維棉采用德國加工工藝制成,用于擴(kuò)散爐和PECVD設(shè)備中爐體和石英管之間的隔熱保溫,解決了以往用保溫棉存在的兩大問題:一是保溫棉長時(shí)間高溫下出現(xiàn)粉化脫落從而影響工作腔體潔凈度,二是手動(dòng)堵塞保溫棉不均勻,影響工作區(qū)溫度穩(wěn)定性和均勻性。本產(chǎn)品可長期使用在高溫下,不粉化,不硬化,不氧化,不變形,防震、耐腐蝕。  
技術(shù)指標(biāo):
保溫材料:進(jìn)口石英纖維棉
產(chǎn)品尺寸:根據(jù)客戶擴(kuò)散爐或PECVD設(shè)備爐體口徑定制
使用溫度:≤1287℃ 
線性收縮:≤0.1% 

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