產(chǎn)品詳情
日本MAGNESCALE線性編碼器BS78角度編碼器原件進(jìn)口
BS78
高速和高分辨率，同時(shí)保持穩(wěn)定的超精密測量。適用于精密載物臺、半導(dǎo)體檢查/制造系統(tǒng)和超精密加工機(jī)器。
高分辨率標(biāo)尺，信號間距約為 138 nm，優(yōu)于光波干涉儀系統(tǒng)
穩(wěn)定性高，不受濕度、氣壓和空氣擾動的影響
參考點(diǎn)精度：±0.1 μm
刻度精度：±0.04 μm（測量長度：40 mm）
非接觸式設(shè)計(jì)消除了返回錯(cuò)誤。
測量長度 : 40 至 420 mm, 9 種類型 (-R/-RS)
測量長度 : 10 至 420 mm, 10 種 (-N/-NS)
提供特殊的非磁性和真空兼容型號
使用低膨脹玻璃：-0.7 x10 -6 °C（測量長度：10 至 420 mm）
分辨率 : 2.1 pm
規(guī)格
Laserscale 使用半導(dǎo)體激光器。激光束對人體有害，請勿直視檢測頭部分。
Magnescale 保留更改產(chǎn)品規(guī)格的權(quán)利，恕不另行通知。
模型 BS78
測量長度 10 (僅 N/NS) / 40 / 70 / 120 / 170 / 220 / 270 / 320 / 370 / 420
總體長度 58 mm (L = 10 mm : 開放式刻度), L +26 mm (L = 40 mm 至 420 mm)
L : 測量長度
醉大限度。旅行 L + 2 mm (L = 10 mm : 開放式刻度), L +10 mm (L = 40 mm 至 420 mm)
L: 測量長度
刻度精度（20 °C 時(shí)）
NS型、RS型：
±0.03 μm (L = 10 mm : NS 型)
±0.04 μm (L = 40 mm)
±0.10 μm (L = 70 / 120 mm)
±0.18 μm (L = 170 / 220 mm)
±0.25 μm (L = 270 mm)
±0.34 μm (L = 320 mm)
±0.39 μm (L = 370 mm)
±0.44 μm (L = 420 mm)
L : 測量長度
N型、R型：
±0.06 μm (L = 10 mm : N 型)
±0.08 μm (L = 40 mm)
±0.20 μm (L = 70 / 120 mm)
±0.35 μm (L = 170 / 220 mm)
±0.50 μm (L = 270 / 370 mm)
±0.65 μm (L = 420 mm)
L : 測量長度
光柵間距 大約 0.55 微米
信號間距 大約 0.138 μm（約 138 nm）
參考點(diǎn)精度 ±0.1 μm（僅 R/RS 型）
參考點(diǎn)位置 在中心，以及從中心向左和
向右每 50 毫米（測量長度為 320、370、420 毫米的 BS78 型號：
從中心以 50 毫米的間隔偏移 20 毫米）
參考點(diǎn)檢測方向 單向
熱膨脹系數(shù) -0.7×10 -6 /℃
光源 半導(dǎo)體激光器：波長 790 nm，輸出 6 mW
輻射功率 DHHS 1 級
檢測原理 衍射光柵掃描系統(tǒng)
工作溫度 +10 至 +30 °C（無冷凝）
儲存溫度 -10 至 50 °C（濕度 60% 或更低）
醉大限度。響應(yīng)速度 400 毫米/秒
優(yōu)勢品牌如下：
儀器儀表：FLUKE、MEGGER、Time electronics、CATU、泰克、吉時(shí)利、
Metrel、Chauvin-arnoux、Amprobe、Flir、ELMA、TTI，Simpson,calmet 等
傳感器&光電開關(guān)：Schneider，Honneywell，balluff，sick，omron，kistler，
pilz，ifm，banner，wenglor，autonics，S+S,Micronor，solar，schmidt，thermo
sensor，wilcoxon，，Endevco,althen，Solar 等
流量計(jì)過濾器： ELIS PLZEN、ETI、MP FILTRI，等
電機(jī)伺服編碼器：EMS、ESITRON、MICRONOR、FENAC、Baumer、林德、TR、
ELTRA，posital，Hengstler，OEMER,等
連接件軸承：SKIFFY、RAFI、Harting，ilme， LAUMAS、PIZZATO、TELWIN、
SELET SENSOR、TECNA、NIEDAX 橋架等
氣缸液壓缸：AURORA、CONFORTI、LJM，F(xiàn).lli Giacomello 等
溫濕度傳感器：S+S REGELTECHNIK、E+E、MADGETECH 等
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