產品詳情
設備名稱OTFC-1550CBI/DBI
真空室SUS304, φ1550mm
工件架φ 1550mm
工件架轉速10 rpm to 30 rpm (可變)
光學膜厚控制HOM2-R-VIS350A光學膜厚監(jiān)控儀波長范圍：350nm to1100nm反射式/透射式可選
水晶式膜厚計XTC/3+6點式水晶傳感器
蒸發(fā)源電子槍2套
離子源10cm RF 離子源
排氣系統(tǒng)機械泵+1個擴散泵+Polycold（或1個冷凝泵）
性能
達到壓力7.0 × 10-5 Pa 以下
排氣時間15 分 (大氣壓 1.3×10-3 Pa)
基板溫度：350℃
工作條件
設備尺寸4500mm (W)×5500mm (D)×3200mm (H) approx.
電源3相,200v,50/60Hz, 約80KVA
水流量180升/分以上
空氣壓力0.5MPa 以上
重量約5400kg
銷售技術 楊經(jīng)理 18103045976 13723521401
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銷售設備清單 |
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序號 |
設備名稱 |
規(guī)格型號 |
品牌 |
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1 |
雙面拋光機 |
6B/9B/9.6B/13B/15B/16B/18B/20B/21B/28B/30B/40B |
日本濱井/創(chuàng)技/瑞德/宇環(huán)/宇晶/勞爾品牌 |
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2 |
真空蒸發(fā)鍍膜機 |
LP1650/1800/2350/1104 |
光弛/龍翩/新科隆/萊寶/聯(lián)合 |
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3 |
自動移載機 |
PH802 |
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4 |
自動移載機 |
PH802 |
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5 |
8寸貼膜機 |
UTAS208A |
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6 |
下擺機 |
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光進/時代 |
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7 |
推拉機 |
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永田 |
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8 |
銑磨機 |
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勇益 |
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9 |
仿形機 |
120/150/170/200/250 |
中航 |
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10 |
異形開料機 |
1240 |
精一 |
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11 |
金相顯微鏡 |
XJX-6 |
奧林巴斯 |
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12 |
金相顯微鏡 |
MA-2002 |
奧林巴斯 |
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13 |
干涉儀 |
100 |
ZYGO |
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14 |
奧林巴斯體視顯微鏡 |
SZ51 |
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15 |
紫外分光光度計 |
1700/1750/1800/2401/2450/2550 |
日本島津 |
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16 |
光譜儀 |
4100 |
日本日立 |
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17 |
紅外光度計 |
21 |
傅利葉 |
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18 |
超聲波洗凈機 |
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科偉達/三和 |
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19 |
二次元影像測量儀 |
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2010/3020/4030 |
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20 |
全自動脫泡機 |
1200/1350/1550 |
鑫力/諾峰/深科達 |
