產(chǎn)品詳情
CS-3200
525 系列 — 表面粗糙度 / 輪廓測(cè)量裝置
特點(diǎn)
? 驅(qū)動(dòng)器(X1 軸) 與立柱(Z2 軸) 均配備有高精度光柵尺(ABS 型)，從而可實(shí)現(xiàn)豎直方向與水平方向運(yùn)動(dòng)中的全自動(dòng)測(cè)量。小孔沿豎直方向的連續(xù)自動(dòng)測(cè)量與難于定位部件的重復(fù)測(cè)量的再現(xiàn)性得以改進(jìn)。
? 為避免驅(qū)動(dòng)器與工件之間的相互干擾，檢出器可加以延伸擴(kuò)展。所有檢出器與驅(qū)動(dòng)器的連接線均封裝在主機(jī)內(nèi)部，以防磨損并確保無(wú)障礙高速運(yùn)行。
? 當(dāng)指定輪廓檢出器(工廠安裝選件)3000*或 4000* 時(shí)，Z1 軸(高) 方向的測(cè)量范圍由5mm 急劇增加到 50mm。
? 驅(qū)動(dòng)器(X1 軸) 傾斜功能強(qiáng)力支持傾斜平面的測(cè)量及不易移動(dòng)的重型工件的測(cè)量。
基本技術(shù)參數(shù):
基座尺寸 (W x D): 600 x 450mm
基座材料: 花崗巖
尺寸 (W x D x H): 756 x 482 x 966mm (主機(jī))
重量: 140kg (主機(jī))
電源: 100 – 240V AC ±10%, 50/60Hz
能耗: 400W (主機(jī))
技術(shù)參數(shù):
X1 軸
測(cè)量范圍: 100mm
分辨率: 0.05μm
驅(qū)動(dòng)速度: 0 - 80mm/s 外加手動(dòng)
測(cè)量速度: 0.02, 0.05, 0.1, 0.2mm/s
(在表面粗糙度測(cè)量時(shí))
0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2mm/s
(在輪廓測(cè)量時(shí))
測(cè)量方向: 向前／向后
直線度: 0.2μm/100mm (0.4μm/100mm: 在輪
廓測(cè)量時(shí))
* 以X1 軸為水平方向上
指示精度 (20oC): ±(0.8+0.01L)μm
L = 驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度 (mm)
傾斜范圍: ±45o
Z1 軸
測(cè)量范圍: 5mm
分辨率: 80nm (5mm 范圍)
8nm (0.5mm 范圍)
0.8nm (0.05mm 范圍)
指示精度 (20oC): ±(1.5+I2HI/100)μm
H 為基于水平位置的測(cè)量高度 (mm)
測(cè)力: 0.75mN
跟蹤角度: 向上: 65o, 向下: 65o
(使用配置的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)頭，依表面粗糙度而定)
測(cè)針針尖 (標(biāo)準(zhǔn)型): 金剛石針尖,
針尖角度: 60o, 尖端半徑: 2μm
測(cè)針針尖 (圓錐): 藍(lán)寶石針尖,
針尖角度: 30o, 尖端半徑: 25μm
測(cè)針?lè)较?/span>: 向下
Z2 軸 (立柱)
立柱移動(dòng): 300mm
分辨率: 1μm
驅(qū)動(dòng)速度: 0 - 20mm/s 外加手動(dòng)
